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内容摘要：
硅碳负极材料CVD炉
适用于
硅碳负极材料的生产、实验
产品特点
●炉内密封性及佳，可通入氮气、乙炔、甲烷、等混合气体。
●组合进料方式，进料量精准控制。
●配置电子流量计、蠕动泵；炉内.温度、压力、流量自动控制。
●轻质炉膛，热，能耗低，炉内温度均匀性好
●PLC全自动控制整套工艺过程，通过触摸屏操作简洁直观。
●运行平稳，宜维护，设备大小可根据需求非标定制。
KY-R-......
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