生产工艺粗、中、细SiC的配方生产工艺粗 、中、细SiC的配方应为5:1:4。制造碳化硅原料一般选用黑色SiC,其化学成分如下:SiC 98.0%,游离C 0.5%,Fe 0.2%,游离SiO2 0.6%。由于结合方式不同,工艺过程有差异。不同结合方式的简要工艺是:(1)氮化硅结合碳化硅:用粗、中、细碳化硅颗粒和细硅粉成型的坯体,在纯N2气体中,在1370℃产生一种以%26α-Si