使用过六氟化硫气体的小伙伴都知道该气体对水分的控制很重要，水分高的话会对高纯六氟化硫设备造成腐蚀损害，影响工作效果。水分是SF6设备产生物质的一个条件。如果高纯六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。SF6气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它有害物质
