主要设备组成 a. 真空机组 扩散泵或分子泵； 国产特殊定制罗茨旋片机组，抽速为1000m3/h。 b. 电控系统 机组入口压力控制真空泵起动、机组入口高压力变送，控制机组及各真空泵启动顺序、扩散泵的控制、真空机组和维持真空泵的转换、电流电压独立显示。过载保护、设有急停按钮、电控箱喷塑处理。控制系统采用施耐德主元器件、国产智能复合真空计，能实现手动开启机械泵、罗茨泵、扩散泵以及相关阀门，
