Veeco K465i外延设备滤芯 产品说明: 该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒; 2只/组(粗滤、细滤) 组成材料: 1、滤材: 耐高温玻纤滤料 2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网 3、骨架:304#不锈钢菱形网 4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片 5、密封胶:硅橡胶 规格: 1、端盖:φ360