電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→陽床→陰床（復床）→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→混床泵→混床→純水
工業超純水
電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→陽床→陰床（復床）→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→（EDI）泵→保安過濾器→紫外線→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
工業超純水解決方案
超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，都是經過膜過濾或混合床等終端精處理的水。
目前，我國電子工業部把工業超純水水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。在水質要求達10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。
超純水設備和純水設備的工作原理的區別
純水設備一般采用的反滲透技術制造純水。純水設備的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)，有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開。反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米，而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米，普通細菌的直徑有0.4-1微米。純水設備流出的水達到飲用水標準。
超純設備是在反滲透技術的基礎上，添加了離子交換和終端處理技術。有些還有深度離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設備，出來的水水質優于GB/T6682-2008一級用水的水質要求。
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