將鈦酸鍶薄膜進行退火處理，形成非晶薄膜；在所述非晶薄膜表面進行電子束蒸發濺射形成頂電極，得到非晶鈦酸鍶薄膜器件。鈦酸鍶熔點高，穩定性好，故鈦酸鍶晶體管將成為一種廣泛應用的電子器件，亦可發展成為鈦酸鍶集成電路。把一層p型鈦酸鍶和一層n型鈦酸鍶外延在一起，這兩層導電類型不同的鈦酸鍶薄膜在界面處就形成一個p-n結，這個p-n結就構成了鈦酸鍶晶體二極管。
鈦酸鍶作為功能材料
鈦酸鍶（SrTiO3）晶體基片
將鈦酸鍶薄膜進行退火處理，形成非晶薄膜；在所述非晶薄膜表面進行電子束蒸發濺射形成頂電極，得到非晶鈦酸鍶薄膜器件。鈦酸鍶熔點高，穩定性好，故鈦酸鍶晶體管將成為一種廣泛應用的電子器件，亦可發展成為鈦酸鍶集成電路。把一層p型鈦酸鍶和一層n型鈦酸鍶外延在一起，這兩層導電類型不同的鈦酸鍶薄膜在界面處就形成一個p-n結，這個p-n結就構成了鈦酸鍶晶體二極管。
鈦酸鍶作為功能材料具有高帶隙寬度，優異的光催化活性，并具有的電磁性能和氧化還原催化活性的特征。經過1550℃×72h+1000℃×20h+600℃×24h的退火,消除鈦酸鍶單晶體的熱應力和氧空位,得到完整的的單晶體.偏光顯微鏡測試表明,晶體具有很好的完整性。白色結晶粉末，屬立方晶型，密度5.11g/cm3，熔點2020℃。它是鐵電材料，但其居里溫度為-250℃，故在使用溫度下實際上是順電相。
鈦酸鍶具有超導性、半導性、氣敏性、熱敏性及光敏性，介電損耗低、色散頻率高，另外還有高介電常數、低電損耗等優點。SrTi03還可用來制作多功能傳感器。例如在SrTi03中摻入一定量的BaTi03和MgCr204，通過燒結形成多孔結構的SrTi03-BaTi03 -MgCr2O4陶瓷可制作溫度濕度變化的雙功能傳感器。SrTio3是典型的鈣鈦礦型多功能陶瓷,具有超導性,半導性,氣敏性,熱敏性,光敏性,高介電常數及低介電損耗等優點,因此是電子工業中應用較廣的一種電子陶瓷材料。
在SrTi03中摻入一定量的BaTi03和MgCr204，通過燒結形成多孔結構的SrTi03-BaTi03 -MgCr2O4陶瓷可制作溫度濕度變化的雙功能傳感器。鈦酸鍶( SrTiO3)晶體的結晶基元為Ti-O八面體,熔體中Ti-O八面體聯結架狀結構和網狀結構,Sr+2位于基元中間,因此由Ti-O八面體組成的結晶基元在熔體中的擴散速度在很大程度上決定了晶體的生長速率。在基底表面旋涂底電極溶液后退火，形成底電極；在所述底電極表面旋涂鈦酸鍶溶液后進行烘烤，形成酸鍶薄膜。
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