潔凈室達到潔凈度等級要求的前提條件
1、送風潔凈度。要保證送風潔凈度,安裝的氣密性要好，液槽密封必須保證液槽接縫嚴密和整體框架都處于同一水平面上.負壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負壓狀態.
2、氣流組織。潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對生產產品的污染,當氣流向回風口流動時要使空氣中
半導體潔凈室
潔凈室達到潔凈度等級要求的前提條件
1、送風潔凈度。要保證送風潔凈度,安裝的氣密性要好，液槽密封必須保證液槽接縫嚴密和整體框架都處于同一水平面上.負壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負壓狀態.
2、氣流組織。潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對生產產品的污染,當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走.根據不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風方式.
潔凈室設計要點
輔助設備：必要時還得安置一些輔助設備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能.
人和物的控制：人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經過人凈系統，更換無塵衣，并且要接受凈化系統功能的基本教育。
給排水和送風裝置及電源：根據所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設備必須易于使用和設計，同時不得有勃于空氣凈化系統。
潔凈室基本原理
潔凈室在其空間環境中空氣懸浮粒子濃度可以進行檢測和控制。
關于潔凈室的建造和使用，其空間內的粒子應該減少誘入和產生，排除滯留在期間的粒子。
室內的空氣溫度和濕度，相關的大氣壓力等這些相關的參數同時要求進行嚴格的控制。
一個簡易的潔凈室，包括外界大氣的輸送，溫度的調節，過濾器的過濾，之后都在一個密閉的室內。
在一般情況下，要求空間內的空氣可以進行循環。但是，如果粉塵、有毒生物和有毒氣體等對凈化設備有損害的氣體進入時，此時要將室內空氣直接外排，重新過濾新的氣體，污染過的氣體將不再參與凈化室的內循環。
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