潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
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潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
潔凈車間地面裝飾資料的焚燒功能應契合現行標準《修建內部裝飾規劃防火規范》GB50354的規則:甲、乙類潔凈車間其潔凈出產區應運用A型級別資料，同時應滿足防火、防靜電的特殊要求。丙、丁類潔凈車間應運用不B2級的資料。技能豎井的壁面必須是非焚燒體，其耐火極限不行少于1小時。井壁上檢查門的耐火極限不行少于0.6小時；豎井內涵各層或相隔一層樓板處,應運用等同于樓板耐火極限的非焚燒體做水平防火分隔，穿過水平防火分隔的電纜電線其周圍縫隙，應運用非焚燒資料堵塞填充。
在進行潔凈室凈化工程的平面布局時有必要契合的現行標準中有關安全出產、消防、環保和工作衛生方面的各種要求；在進行潔凈室凈化工程平面布局時應充分考慮、物流的安排．極力做到短捷、流暢。在空間規劃時應分考慮產品出產過程和潔凈室凈化工程裝飾內各種管線、物流運送的合理安排。在確定潔凈廠房的平面、空間安置后，對潔凈室凈化工程規劃涉及的各個提出規劃內容、技能要求及規劃中應留意的相關問題。
潔凈室凈化工程檢測點的安置：依據人民共和國GBJ73-84《潔凈廠房設計規范》的規則：在對凈化車間進行潔凈度檢測時，檢測點應為距室內地坪1.00m的水平面內;關于單向流型凈化車間測點總數應不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅安置在一凈化車間工作區內;非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個測點。
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