按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。 泄漏的檢查，存在著各種各樣的方式，其中之一便是使用氦質譜檢漏儀的檢查方式。利用氦氣作為示蹤氣體，來對各種容器的泄漏、微漏和滲漏(包
檢漏儀使用
按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。 泄漏的檢查，存在著各種各樣的方式，其中之一便是使用氦質譜檢漏儀的檢查方式。利用氦氣作為示蹤氣體，來對各種容器的泄漏、微漏和滲漏(包括材料本身的)進行檢測。使用氦氣進行檢漏是考慮到氦氣具有以下一些優點：（不用氫氣，因為氫氣有可燃可爆的危險性）這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。
另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。氦質譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進行定性、定量、的檢測特別是選擇無破壞性、無毒，無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當中的。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進行定性、定量、的檢測特別是選擇無破壞性、無毒，無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當中的。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設備(真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱的雪種容器等等)，要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質譜檢漏儀進行檢漏檢查。
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