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什么是流量控制器
質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Con
混合氣體流量計規格
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什么是流量控制器
質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。二、溫度影響用于加氣機的CMF工作溫度遠室溫，溫度影響必須考慮。特點：精度高，重復性好。
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流量控制器的性能參數
流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差
工作壓差范圍指的是當流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時，能保持通過流量控制器的流量恒定不變。行業標準中規定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產品工作壓差范圍達到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設計。流量控制器內存在水汽有多糟排出液體如果您的ALICAT質量流量計、質量流量控制器內滲入了液態物質，切勿置之不理，倘若液體在氣路內滯留太久，可能導致不同金屬間相互反應。
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流量控制器
氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。在探頭設計中，盡可能采用導熱系數小的材料制造構架并采用絕熱、絕緣硅膠對探頭密封以減少導熱量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
怎樣進行不同氣體的質量流量換算？
產品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規格。用同一規格的MFM/MFC測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體（氮氣）的質量流量轉換系數。
如果您使用的產品是標準出廠產品（按氮氣標定顯示），而需要知道實際使用氣體的質量流量時，先在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數。在測量過程中，以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量；三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節減壓閥和背壓閥,要保證M
