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流量控制器在高壓條件下如何使用
質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓,
多晶爐流量計排名
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流量控制器在高壓條件下如何使用
質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。而今，當再有液態氨進入到質量流量計或質量流量控制器內部時，只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。
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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎 如何選擇密封材料
質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。25psi或更低)加上微熱(50~60°C)可使得液體從設備內部的微小氣道內蒸發。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。
流量控制器的穩定控制時間
由于到達設定值后控制器可能會發生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。隨著自動化水平的提高，許多生產過程都對流量測量提出了新的要求。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩定容許范圍。
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流量控制器
對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
