内容摘要:
纳米氧化硅抛光液是一种均匀稳定的纳米氧化硅分散浆料,是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。纳米氧化硅抛光液具有优异的分散性和稳定性,能够长期储存稳定无沉淀。广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
产品特点
1、高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的(可以生产150 nm)
2、粒度可......
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