主營產品:擴散爐,隧道爐,精餾
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高純材料提純設備主要滿足高純砷等新材料制造行業,對材料進行氣氛保護下的燒結、升華、還原、精餾等工藝。
主要性能指標:
外型形式:臥式結構,水平爐管
工作溫度:200℃—1100℃
恒溫區長度:根據工藝要求
儀表控溫精度:千分之三
可通工藝氣體:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等
氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制
報警系統:氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式:程序控制或工控機+觸摸屏控制
產品特點:
采用國內獨有的開合式設計方式;
工藝降溫速度快;
生產;
設備維護簡便。
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青島福潤德微電子設備有限公司
張琪(小姐) /銷售 |
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