氧化擴散爐性能特點：



◆具有可編程的升、降溫功能

◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網、磁場的干擾

◆windows xp全中文視窗操作系統，可儲存1000條曲線，每條曲線設置30步

◆自動運行中可暫停／繼續運行功能

◆智能升降溫斜率控制功能

◆PlD參數自整定功能，可存儲多組PlD參數供系統運行調用功能

◆系統故障的檢測與報警功能、系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)

◆具有停電后斷點繼續運行功能

◆工藝方式：干法氧化、濕法氧化、水汽氧化