LED爐主要滿足LED芯片制造行業，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。



主要性能指標：



外型形式：臥式1—4管結構，水平爐管

工作溫度：200℃—1100℃

恒溫區長度：≥600mm

硅片規格：適用于2—6英寸硅片以及碎片

恒溫區精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內)

單點溫度穩定性、重復性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內)

溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，10分鐘

工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制

氣路系統氣密性：1×10-7PaM3/S

送料機構：懸臂石英桿載料，手動

報警系統：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警

控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制