氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。常用的傳統氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用，檢測到微漏的氦質譜檢漏儀成為了化工廠安全生產作業的保障。
 
儀器工作在穩定的狀態，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續抽、空氣清氦、氮氣清氦的清氦方式，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時間。而通過實驗表明，利用氮氣來清氦的效率是高的。鑒于儀器在檢漏的過程中氮氣清氦的性，對儀器的系統進行改進。增加清氦電磁閥。在氦質譜檢漏儀中增加氮氣清洗設置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護設置，即儀器在檢測到大漏時，儀器自動停止，防止大量氦氣再進入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。

氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業人員的安全以及環境保護，氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質譜檢漏設備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，電力行業檢漏公司，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。對檢漏方法的要求：穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
 
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