可進行、高水平分析，多功能3D粗糙度分析，微細輪廓測量。

●在X軸和Y軸上內置高清晰度的玻璃尺（X軸分辨率：0.05μm,Y軸分辨率：1μm）。

●配有“直線度補償功能”，可確保X軸的線性精度；“圓度補償功能”可保證測針的垂直移動；以及“針尖半徑補償功能”。

●配備易于操作的控制箱，可進行開始/停止測量、返回等操作。驅動部的上/下位置和X軸的移動等微調操作。