1、優(yōu)異的平面分辨率：LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。405nm紫色激光和高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無(wú)法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。

2、LEXT物鏡：LEXT物鏡系列近期新增了提升測(cè)量性能的長(zhǎng)工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡。所有LEXT物鏡的測(cè)量性能均可獲得保證。

3、4K掃描技術(shù)—檢測(cè)陡峭斜面和近納米級(jí)臺(tái)階的形貌：4K 掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍。由此提高了高度測(cè)量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無(wú)需圖像處理就能檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺(tái)階。

4、簡(jiǎn)單分析：簡(jiǎn)單分析功能可僅在測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量臺(tái)階、線(xiàn)寬、表面粗糙度和體積。自動(dòng)檢測(cè)結(jié)果變動(dòng)的原因讓測(cè)量結(jié)果保持穩(wěn)定。

可檢測(cè)210毫米高度的樣品：載物臺(tái)上可放置高度210毫米的樣品。重復(fù)性和準(zhǔn)確性等測(cè)量性能均確保與標(biāo)準(zhǔn)相同。