產品特性：

 &8226 通過利用常規過程數據和專有技術重新設計了易用性

 &8226 通過在負載鎖定室中安裝暗盒機構（可選）來提高生產率

 &8226 zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。

 &8226 支持堆疊/同時濺射多個陰極

 &8226 通過觸摸屏和配方輸入自動處理，節省了人工

 &8226 可以記錄數據



產品應用：

&8226 電極成膜/多層電極及同時成膜應用

&8226 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護膜等

&8226 用于電子零件和小規模生產的研發