詳細說明

光伏行業(yè)普遍使用的石英舟托及舟，因其生產(chǎn)工藝和石英材料特性，使用壽命為3-6個月，碳化硅舟托及舟，代替石英，使用壽命可達5年以上，可顯著降低使用成本及維護維修停線造成的產(chǎn)能損失。



碳化硅舟應(yīng)用半導(dǎo)體立式爐，主要應(yīng)用于高溫氧化環(huán)節(jié)和高溫退火環(huán)節(jié)。