可對應300mm硅片的邊緣的缺陷檢測。



【邊緣檢測】：對硅片外周（Bevel）進行非接觸式高速檢測。畫像處理根據預先設定的參數條件自動提取各種缺陷，并判定是否合格。



【缺陷種類】：邊緣部：scratch，chip ; V-notch：scratch，chip

【生產能力】：根據缺陷種類不同每片檢測快只需20S。

【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進行參數保存與導出。

【檢測范圍】：邊緣，V-notch

【檢測對象】：12寸拋光片