主要特點: 電源柜采用全密封防塵結構; 全面的PLC水、電、氣自動控制和保護系統。實現電源、爐體、冷卻水、保護氣體等裝置的順序控制和連鎖保護,預警、報警等功能; 機柜自帶水冷散熱器,不與室內空氣發生熱交換。由封閉的純水循環系統進行冷卻; 每一路水都由流量計實施監控保護,一次水循環系統全部使用不銹鋼管道和去離子水; 配備氣體凈化裝置可將氧含量降到1ppmv,露點溫度小于-70度;