多晶硅還原爐紅外加熱管
傳熱面的形狀： 管式 種類： 輻射加熱設備
型號： 400V-7.5kw-2940mm 規格： 7.5kw-2940mm
商標： PLS 包裝： 木箱
產量： 1000 PCS
我司為國內首家研制出多晶硅還原爐紅外燈管的廠家，打破多年國外產品的壟斷，產品價格僅為國外產品的五分之一，同時上與國外產品幾乎無異，為多晶硅企業節約大量的資金投入，使其產品更加具有市場競爭力。
一般網帶式燒結爐采用電熱絲作為加熱元件，主要通過熱傳導對工件進行加熱，無法實現急速升溫。只有輻射或微波能夠迅速加熱物體，而輻射加熱具有使用經濟、安全可靠、更換方便等優點。所以多晶硅還原爐基本都采用紅外石英燈管作為主要加熱元件。它的設計使用需注意以下三個問題：
1、紅外加熱管的結構形式
為實現燒結段的溫度尖峰，需在很短的爐膛空間內布置足夠的加熱功率。有短波孿管和短波單管兩種結構可以選擇，其線性功率密度均達到60kW/m2。短波孿管擁有更高的單根功率(相當于兩根單管并聯)，但由于其制造工藝復雜，對石英玻璃管的質量要求更高，制造成本約是單管的2.5倍。
2、紅外輻射吸收光譜
當紅外輻射能量被工件吸收時，該物質所特有的吸收光譜需與發射光譜相匹配，才能在短時間內效率地吸收輻射能。因此，在燒結的不同階段，所選用的紅外石英燈管也是不同的。在烘干段，要讓有機溶劑和水分迅速揮發，采用中波管輔助熱風加熱是正確的;在預燒段，要讓基片獲得充分均勻的預熱，中波管良好的紅外輻射、均衡的吸收及穿透能力，正好符合要求;在燒結段，必須在極短時間內使基片達到共晶溫度，只有短波管能做到這一點。
3、紅外加熱管的固定方式
燒結段的溫度峰值在850℃左右，此時燈管的表面溫度將達到1100℃，接近石英管的使用極限，稍微過熱產生氣孔就會立刻燒毀燈管。而在燈管的引出導線部位，由于焊接導線的金屬片和石英玻璃密封在一起，二者熱膨脹系數不一致，如果此處溫度過高就會產生應力裂紋，造成燈管漏氣。因此燈管在爐膛中的安裝固定方式十分重要。紅外燈管在爐膛中固定方式：要求燈管的冷端距離爐壁至少80mm以上，保證引出導線部位的溫度不會過高;而且爐壁上安裝孔的直徑要比燈管大2～3mm，通過兩側的固定夾具將燈管懸空夾持在爐膛中。
